Тематическая группа 15-3 Сковородин ИНТем. группа автоматизации измерительных технологий
Основные направления исследованийИсследование и разработка уникальных измерительных приборов; создание на их основе автоматизированных измерительных комплексов для исследования электрофизических свойств полупроводниковых и диэлектрических материалов. Исследование, разработка и создание автоматизированных технологических установок. Научные и прикладные результатыПубликации |